真空鍍膜(mo)(mo)設備離子鍍膜(mo)(mo)機(ji)(ji)與(yu)蒸發(fa)鍍膜(mo)(mo)機(ji)(ji)、濺射鍍膜(mo)(mo)機(ji)(ji)相比(bi)，最大(da)的特點是荷(he)能離子一(yi)邊轟擊(ji)基體與(yu)膜(mo)(mo)層(ceng)(ceng)，一(yi)邊進行沉積。鍍膜(mo)(mo)生(sheng)產(chan)過程中(zhong)對(dui)鍍膜(mo)(mo)層(ceng)(ceng)厚(hou)度(du)均(jun)勻性檢測至關重要，真空鍍薄(bo)膜(mo)(mo)可以通過透光(guang)率(lv)光(guang)密度(du)光(guang)學性能來檢測鍍膜(mo)(mo)層(ceng)(ceng)厚(hou)度(du)的均(jun)勻性，目前市場上(shang)林上(shang)科技有一(yi)款(kuan)專業的在線涂層(ceng)(ceng)測厚(hou)儀可連續監控(kong)鍍薄(bo)膜(mo)(mo)在線生(sheng)產(chan)的鍍膜(mo)(mo)品質(zhi)。

荷能離子的轟擊作用所產生一系列的效應，主要有如下幾點：
? ? ? ?1：膜/基結合力（附著力）強，膜層不易脫落。由于離子轟擊基體產生的濺射作用，使基體受到清洗，激活及加熱，既可以去除基體表面吸附的氣體和污染層，也可以去除基體表面的氧化物。離子轟擊時鏟射的加熱和缺陷可引起基體的增強擴散效應。既提高了基體表面層組織結晶性能，也提供了合金相形成的條件。而且，較高能量的離子轟擊，還可以產生一定的離子注入和離子束混合效應。
? ? ? ?2：離子鍍膜機由于產生良好的繞射性。在壓力較高的情況下（≧1Pa）被電離的蒸汽的離子或分子在到達基體前的路程上將會遇到氣體分子的多次碰撞。因此，可使膜材粒子散射在基體的周圍。從而改善了膜層的覆蓋性。而且，被電離的膜材離子，還會在電廠的作用下沉積在具有負電壓基體表面的任意位置上。因此，這一點蒸發鍍是無法達到的。
? ? ? ?3：鍍層質量高。由于離子轟擊可提高膜的致密度，改善膜的組織結構，使得膜層的均勻度好，鍍層組織致密，針孔和氣泡少。因此，提高了膜層的質量。
? ? ? ?4：沉積速率高，成膜速度快，可制備30um的厚膜。
? ? ? ?5：鍍膜所適用的基體材料與膜層材料均比較廣泛。適用于在金屬或非金屬表面上鍍制金屬、化合物、非金屬材料的膜層。如在鋼鐵、有色金屬、石英、陶瓷、塑料等各種材料表面鍍膜。由于等離子體的活性有利于降低化合物的合成溫度，因此離子鍍比較容易地鍍制各種吵硬化合物薄膜。
? ? ? ?由于離(li)子(zi)(zi)鍍(du)(du)膜(mo)(mo)機(ji)具(ju)有上(shang)述特(te)點，所(suo)以(yi)其應用(yong)范圍極為廣泛。利用(yong)離(li)子(zi)(zi)鍍(du)(du)技(ji)術(shu)可(ke)(ke)(ke)以(yi)子(zi)(zi)在金(jin)(jin)屬、合(he)金(jin)(jin)、導電材料(liao)甚至非導電材料(liao)（采用(yong)高頻偏(pian)壓(ya)）基體上(shang)進行鍍(du)(du)膜(mo)(mo)。離(li)子(zi)(zi)鍍(du)(du)沉積的(de)(de)膜(mo)(mo)層(ceng)可(ke)(ke)(ke)以(yi)是金(jin)(jin)屬膜(mo)(mo)、多元合(he)金(jin)(jin)膜(mo)(mo)、化(hua)(hua)合(he)物膜(mo)(mo)；既(ji)可(ke)(ke)(ke)鍍(du)(du)單一(yi)鍍(du)(du)層(ceng)，也可(ke)(ke)(ke)鍍(du)(du)復(fu)合(he)膜(mo)(mo)層(ceng)；還可(ke)(ke)(ke)以(yi)鍍(du)(du)梯度鍍(du)(du)層(ceng)和納米多層(ceng)鍍(du)(du)層(ceng)。采用(yong)不同(tong)的(de)(de)膜(mo)(mo)材，不同(tong)的(de)(de)反應氣體以(yi)及(ji)不同(tong)的(de)(de)工藝方法和參數，可(ke)(ke)(ke)以(yi)獲得(de)表面強化(hua)(hua)的(de)(de)硬質耐(nai)磨鍍(du)(du)層(ceng)，致密(mi)且化(hua)(hua)學性質穩(wen)定(ding)的(de)(de)耐(nai)蝕鍍(du)(du)層(ceng)，固體潤(run)滑層(ceng)，各種(zhong)色澤的(de)(de)裝飾鍍(du)(du)層(ceng)以(yi)及(ji)電子(zi)(zi)學、光(guang)學、能源科學等所(suo)需(xu)的(de)(de)特(te)殊(shu)功能鍍(du)(du)層(ceng)。離(li)子(zi)(zi)鍍(du)(du)技(ji)術(shu)和離(li)子(zi)(zi)鍍(du)(du)的(de)(de)鍍(du)(du)層(ceng)產品已(yi)得(de)到非常廣泛的(de)(de)應用(yong)。